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高精度磁编码器
时间：2022-04-11
高精度磁编码器
先进功能薄膜材料及应用研究室于广华教授团队开发出先进磁性材料、磁传感芯片及高精度磁编码器。编码器是把角位移或直线位移转换成电信号的一种装置，广泛用于机械自动化等行业。编码器主要有磁编码器和光编码器两大类，磁编码器与光编码器相比，更具有抗振动、抗腐蚀、抗污染、抗干扰和宽温度特性，尤其在苛刻的环境下彰显其稳定性。
磁编码器主要是由磁阻传感器、磁码盘、信号处理电路和主体结构等部分组成。研究室采用磁控溅射技术制备出性能优良纳米磁电阻薄膜材料，进一步通过曝光、蚀刻等微加工工艺制备出磁传感芯片，磁场分辨率达到3.3 mV/V/Oe；通过冶炼、锻造和扎制等工艺制备出高性能可变性磁性合金，原始磁信号输出弦波波动误差小于1%；配以信号处理电路，最终成功开发出分辨率可达23位的绝对值磁编码器和精度优于0.005°的增量磁编码器。产品拥有自主知识产权，替代进口，可用于高档数控机床、机器人、新能源汽车、半导体装备、航空航天装备、先进轨道交通装备及国防军工等领域。
磁传感芯片
不同型号磁编码器
